ELA(EXCIMER LASER ANNEALING)设备中的 核心装置
308nm Laser的 Window用途使用,需承受Laser Power 输出力
RTP灯丨 95V 750W
RTP灯 I 95V 700W 5G
RTP灯丨95V 640W 5G
RTP灯 I 82V 520W 5G
RTP灯丨 VULCAN 95V 645W
RTP灯 I 82V 500W
RTP灯丨T 100V 730W
EPI丨120V 2000W G22 A2
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