磁悬浮高速运转，实现双向气流平衡
基于磁悬浮原理，无轴承，叶轮完全靠电机磁场驱动
封闭式设计，避免金属或电子零件直接暴露于腐蚀性气体中
寿命长，可使用长达10年以上，维护成本低
双向旋转(顺向及逆向)可将气流气压控制于设定参数
单一风扇可取代传统风扇+auto damper,稳定制程环境并改善particle issue
可 与auto damper或比例阀搭配使用，确保改善后精准度，并长期监控气流稳定性
RTP灯丨 95V 750W
RTP灯 I 95V 700W 5G
RTP灯丨95V 640W 5G
RTP灯 I 82V 520W 5G
RTP灯丨 VULCAN 95V 645W
RTP灯 I 82V 500W
RTP灯丨T 100V 730W
EPI丨120V 2000W G22 A2
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